MLC 600 直写光刻系列

采用先进的数字光刻技术，无需掩模版，能够直接将版图信息转移到涂有光刻胶的衬底上。产品功能灵活、体积小、性价比高，专为各高校、实验室及研究机构量身打造。其主要应用产品包括各类MEMS制作（如MEMS麦克风、压力传感器、加速度计、陀螺仪、超声波传感器、压电传感器）、掩模板制作等。

产品特点

精巧型直写光刻设备

应用于MEMS、功率器件等

自动对准、背部对准、用户自定义标记对准功能

自动实时聚焦功能

*以上数据来源于CFMEE实验室测试结果，具体情况可能因实际使用环境而有所不同。本公司保留对相关数据和内容进行调整的权利，恕不另行通知。

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